Публікація: Частотные методы измерения линейных наноразмеров
Завантаження...
Дата
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тому
Видавець
ХНУРЭ
Анотація
В лучших системах с применением лазерных интерферометров перемещений (ЛИП), которые созданы для метрологического обеспечения измерений длин в нанометровом диапазоне, обеспечиваются измерения малых длин в диапазоне с разрешающей способностью порядка 0,03-0,02 нм.
Опис
Ключові слова
интерферометр, лазер
Цитування
Мачехн Ю. П. Частотные методы измерения линейных наноразмеров. / Ю. П. Мачехин, А. Д. Данелян, Д. И. Гарибашвили // 1-я Международная научная конференция «электронная компонентная база. Состояние и перспективы развития » - 2008 - стр. 236-240