Публікація: Реализация импульсного режима питания магнетронно-распылительной системы под управлением микроконтроллера
Завантаження...
Дата
2017
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
ХНУРЕ
Анотація
Technology application of high-quality thin films and coatings on a variety of products is critical for electronics, optics and other branches of engineering. The main problem consists of the low deposition rate, low efficiency of industrial sputtering systems, chemical reaction of the sprayed material with the reaction gas. In most cases, these problems are related to the power source of sputtering systems. This work is aimed at improving the efficiency of power supplies magnetron-sputtering systems.
Опис
Ключові слова
Магнетронно-распылительная система, Микроконтроллер
Бібліографічний опис
Корж А. В. Реализация импульсного режима питания магнетронно-распылительной системы под управлением микроконтроллера / А. В. Корж, А. В. Бородин // Радіоелектроніка та молодь у ХХІ столітті : зб. тез. доп. ХХI Харків. конф. молодих науковців, 25–27 квіт. 2017 р. – Харків, 2017. – С. 33.