Публікація: Принципы физической расшифровки изображений в сканирующей микроволновой микроскопии
Завантаження...
Дата
2018
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
Журнал фізики та інженерії поверхні
Анотація
В работе численно исследуются приёмы построения изображений в СММ, обеспечивающие визуализацию профилей распределения физических параметров объекта в приповерхностной области. Показано, что изображение фундаментальных сигналов изменения резонансной частоты и добротности резонаторного сканирующего зонда далеко не всегда соответствуют профилю указанных параметров. Для обеспечения такого соответствия предлагается реконструировать изображение этих сигналов на основе аналитической аппроксимации соответствующих характеристик преобразования зонда и формирования оптимального пакета сигналов. В частности, для построения изображений профиля электропроводности σ(x, y) следует использовать комбинированный сигнал вида ΔQ-1/Δf(x, y). Для двухпараметровой диагностики профиля ε(x, y) и профиля поверхности ΔhZ(x, y) целесообразно использовать два сигнала Δf1(x, y) и Δf2(x, y) при различных фиксированных значениях зазора hZ1 и
hZ2 и аналитические аппроксимации соответствующих характеристик преобразования. Результаты исследования иллюстрируют демонстрацией профиля общего сигнала и восстановленным профилем физических величин.
Опис
Ключові слова
сканирующая микроволновая микроскопия, характеристики преобразования, реконструкция изображений, многопараметровость диагоностики, аналитическая аппроксимация
Бібліографічний опис
Ю.Е. Гордиенко Принципы физической расшифровки изображений в сканирующей микроволновой микроскопии / Гордиенко Ю.Е., Левченко А.В., Щербань И.М. // Журнал физики и инженерии поверхности, 2018, том 3, № 1, С. 17-23.