Мікрохвильові резонаторні апертурні сенсори

Abstract

Розглянуто питання щодо створення мікрохвильових резонаторних апертурних сенсорів для вимірювання електрофізичних характеристик малорозмірних об′єктів і структур. Наведено розрахункові формули основних параметрів об′ємних резонансних систем, обчислені очікувані значення параметрів. Описані можливі конструкції мікрохвильових апертурних сенсорів, наведені результати модельних оцінок та експериментальних досліджень характеристик реальних конструкцій. Описані системи формування та вимірювання первинних інформаційних сигналів резонаторних вимірювальних перетворювачів. Запропоновано напрямки вдосконалення мікрохвильових сенсорів та систем вимірювання їх параметрів.