Please use this identifier to cite or link to this item: http://openarchive.nure.ua/handle/document/7427
Title: Методи контролю структур топології поверхонь матеріалів виробів електронної техніки, МЕМС та МОЕМС
Authors: Филипенко, О. І.
Чала, О. О.
Keywords: якість
контроль
функціональні поверхні
електронна техніка
МЕМС
МОЕМС
інтерферометр
Issue Date: 2018
Publisher: Державне підприємство Науково-дослідний технологічний інститут приладобудування
Citation: Филипенко О.І. Методи контролю структур топології поверхонь матеріалів виробів електронної техніки, МЕМС та МОЕМС / О.І. Филипенко, О.О. Чала, Ю.В. Бондаренко // Технология приборостроения. – 2018. – № 2. – с. 3–7.
Abstract: У статті розглядаються методи контролю якості поверхонь виробів електронної техніки, МЕМС та МОЕМС для реалізації задачі технологічного забезпечення контролю якості та для подальшого удосконалення на етапі готової продукції. За проведеними дослідженнями обирається метод неруйнівного контролю якості, а саме інтерференційний метод контролю.
URI: http://openarchive.nure.ua/handle/document/7427
Appears in Collections:Кафедра комп'ютерно-інтегрованих технологій, автоматизації та мехатроніки (КІТАМ)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
НИТИП_18'2_3-7.pdf3.11 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.