Публікація: Влияние параметров технологического процесса на электрофизические свойства диэлектрических пленок
Завантаження...
Дата
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тому
Видавець
Кременчуцький національний університет ім. М. Остроградського
Анотація
Приводятся результаты экспериментальных исследований электрофизических свойств диэлектрических пленок в зависимости от параметров технологичного процесса. Описаны основные факторы влияющие на свойства пленок, представлены графики зависимости от этих факторов.
Опис
Цитування
Невлюдов И. Ш. Влияние параметров технологического процесса на электрофизические свойства диэлектрических пленок / И. Ш. Невлюдов, В. Н. Гурин, Д. В. Гурин // Фізичні процеси та поля технічних і біологічних об'єктів : матеріали ХVII Міжнар. наук.-техн. конф. , 2-4 листоп. 2018 р. – Кременчук : Кременчуц. нац. ун-т ім. М. Остроградського, 2018. – С. 139-141.