Публікація: Влияние параметров технологического процесса на электрофизические свойства диэлектрических пленок
Завантаження...
Дата
2018
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
Кременчуцький національний університет ім. М. Остроградського
Анотація
Приводятся результаты экспериментальных исследований электрофизических свойств диэлектрических пленок в зависимости от параметров технологичного процесса. Описаны основные факторы влияющие на свойства пленок, представлены графики зависимости от этих факторов.
Опис
Ключові слова
диэлектрические пленки, вольтамперные характеристики, электрические свойства пленок, катодное распыление
Бібліографічний опис
Невлюдов И. Ш. Влияние параметров технологического процесса на электрофизические свойства диэлектрических пленок / И. Ш. Невлюдов, В. Н. Гурин, Д. В. Гурин // Фізичні процеси та поля технічних і біологічних об'єктів : матеріали ХVII Міжнар. наук.-техн. конф. , 2-4 листоп. 2018 р. – Кременчук : Кременчуц. нац. ун-т ім. М. Остроградського, 2018. – С. 139-141.