Публікація: Влияние состояния поверхности микрозеркал МОЕМS-компонентов на их оптические характеристики
Завантаження...
Дата
2015
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
Кременчуцький національний університет ім. М. Остроградського
Анотація
В работе рассматриваются поляризационно-зависимые потери в элементах направляющих МОЕМS-компонентов, а именно влияние шероховатости поверхности микрозеркал на отражение. Выделен перечень параметров, характеризующих состояние поверхности зеркал МОЕМS-компонентов. Проведено количественное оценивание степени влияния неровностей поверхности на уровень отраженного сигнала с учетом длины волны оптического излучения
Опис
Ключові слова
отраженные сигналы, шероховатость поверхности, микрозеркала, поляризационно-зависимые потери, MOEMC-компоненты
Бібліографічний опис
Филипенко А. И. Влияние состояния поверхности микрозеркал МОЕМS-компонентов на их оптические характеристики / А. И. Филипенко, Е. А. Чалая // Фізичні процеси та поля технічних і біологічних об’єктів : матеріали ХIV Міжнар. наук. -техн. конф. – Кременчук : КрНУ, 2015. – С. 98–99.