Публікація: Математические модели технологического процесса напыления наноструктурированных диэлектрических пленок, полученных методом ионно-плазменного распыления
Немає доступних мініатюр
Дата
2012
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
Харьковский Национальный Университет Радиоэлектроники
Анотація
В статье приведены математические модели процесса напыления наноструктурированных диэлектрических пленок, полученных ионно-плазменным методом распыления кремния в атмосфере кислорода, азота и их смесей. Определены оптимальные управляющие воздействия параметров напыления, применение которых дает возможность получать качественные диэлектрические пленки с заданными параметрами. Приведеныe оптимальные управляющие воздействия могут быть использованы для АСУТП получения пленок.
Опис
Статья состоит из двух разделов:Анализи методы получения наноструктурированных диэлектрических пленок, математическое моделирование процесса напыления диэлектрических пленок и определение оптимальных управляющих воздействий;выводов и рекомендаций по дальнейшему направлению исследований
Ключові слова
модели, диэлектрические пленки, ионнно-плазменное траспыление
Бібліографічний опис
Гурин В. Н. Математические модели технологического процесса напыления наноструктурированных диэлектрических пленок, полученных методом ионно-плазменного распыления /В. Н. Гурин, А. Г. Фирсов, Д. В. Гурин // Автоматизированные системы управления и приборы автоматики.Всеукраинский межведомственный научно-технический сборник.-2012-Выпуск 161-С.74-77