Модель резонансного вихретокового преобразователя предназначенного для контроля тонких неферомагнитных пленок

Abstract

Тонкие неферромагнитные пленки широко применяются в электронике в виде резистивных и емкостных элементов интегральных схем, устройств для записи и хранения информации, хемотронных приборах, в авиационной и космической технике, в оптике, микроволновой технике, применяются в качестве покрытия для защиты от электромагнитного излучения, а также используются в декоративных целях. В работе рассмотрены вопросы теории резонансных вихретоковых преобразователей предназначенных для контроля тонких неферромагнитных пленок. Выполнен анализ влияния внутреннего сопротивления источника питания преобразователя и параметров структуры тонких неферромагнитных пленок на входные и выходные параметры и характеристики преобразователя. Выполнено сравнение чувствительности модели резонансного преобразователя с моделью апериодического.