Публікація: Особенности выявления дефектов тонких электропроводящих пленок
Завантаження...
Дата
2017
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
ХПІ
Анотація
В результате изучения свойств и структуры тонких пленок, показано что свойства и структура тонких пленок значительно отличается от тех же параметров объемного материала. Физические процессы происходящие во время образования пленок обуславливают индивидуальную специфику свойств и структуры. Поэтому, одним из основных показателей качества металлических тонких пленок является отсутствие дефектов. В работе рассмотрены вопросы теории появления дефектов тонких электропроводящих пленок. Выполнен анализ влияния главных электрических параметров пленок на наличие дефектов структуры пленок. Показаны иные возможные виды дефектов пленок и определены способы их выявления
Опис
Ключові слова
тонкая электропроводящая пленка, толщина и форма пленки, пористость структур, поверхностная плотность островков
Бібліографічний опис
Светличный В. А. Особенности выявления дефектов тонких электропроводящих пленок / В. А. Светличный, Ю. Е. Хорошайло, О. В. Мулявка, А. В. Сова // Вісник національного технічного університету «ХПІ», серія «Електроенергетика та перетворювальна техніка». – 2017. – № 4 (1226). – С. 72–77.