Публікація:
Перспективы применения микроэлектромеханических систем в космической технике

Завантаження...
Зображення мініатюри

Дата

2015

Назва журналу

ISSN журналу

Назва тома

Видавництво

Дослідницькі проекти

Організаційні підрозділи

Видання журналу

Анотація

В статье рассмотрены перспективные направления развития микросистемной техники для различных сфер применения. У статті розглянуті перспективні напрями розвитку мікросистемної техніки для різних сфер застосування. The article describes. the promising areas of microsystems technology for various applications.

Опис

Ключові слова

микросистемная техника , сенсоры, актюаторы, нанотехнологии, миниатюризация, микроэлектромеханические системы

Бібліографічний опис

DOI