Публікація: Перспективы применения микроэлектромеханических систем в космической технике
Завантаження...
Дата
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тому
Видавець
Анотація
В статье рассмотрены перспективные направления развития микросистемной техники для различных сфер применения.
У статті розглянуті перспективні напрями розвитку мікросистемної техніки для різних сфер застосування.
The article describes. the promising areas of microsystems technology for various applications.
Опис
Ключові слова
микросистемная техника , сенсоры, актюаторы, нанотехнологии, миниатюризация, микроэлектромеханические системы