Please use this identifier to cite or link to this item: http://openarchive.nure.ua/handle/document/475
Title: Кинетика локального СВЧ разогрева полупроводников и диэлектриков
Authors: Гордиенко, Ю. Е.
Ларкин, С. Ю.
Щербак, Е. Л.
Слипченко, Н. И.
Keywords: СВЧ техника
СВЧ микротехнологии
СВЧ разогрев
Issue Date: 2014
Publisher: ХНУРЭ
Citation: Кинетика локального СВЧ разогрева полупроводников и диэлектриков / Ю. Е. Гордиенко, С. Ю. Ларкин, Н. И. Слипченко, Е. Л. Щербак // Радиотехника : Всеукр. межвед. науч.-техн. сб. – Харьков, 2014. – Вып. 177. – С. 98 – 104.
Abstract: В настоящее время практическое использование сверхвысокочастотного (СВЧ) диапазона электромагнитных колебаний сравнимо с оптическим. Однако только недавно стала развиваться область СВЧ техники, связанная с ближнеполевым взаимодействием СВЧ источника с объектами. Особо перспективными ее направлениями являются сканирующая микроволновая микроскопия (СММ) [1, 2] и СВЧ микротехнологии (СМТ). Последние еще только устанавливаются несмотря на известные достижения СВЧ нагрева крупноразмерных объектов.
URI: http://openarchive.nure.ua/handle/document/475
Appears in Collections:Радиотехника

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
стр.098-104.doc793.5 kBMicrosoft WordView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

Admin Tools