Публікація: Кинетика локального СВЧ разогрева полупроводников и диэлектриков
Немає доступних мініатюр
Дата
2014
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
ХНУРЭ
Анотація
В настоящее время практическое использование сверхвысокочастотного (СВЧ) диапазона электромагнитных колебаний сравнимо с оптическим. Однако только недавно стала развиваться область СВЧ техники, связанная с ближнеполевым взаимодействием СВЧ источника с объектами. Особо перспективными ее направлениями являются сканирующая микроволновая микроскопия (СММ) [1, 2] и СВЧ микротехнологии (СМТ). Последние еще только устанавливаются несмотря на известные достижения СВЧ нагрева крупноразмерных объектов.
Опис
Ключові слова
СВЧ техника, СВЧ микротехнологии, СВЧ разогрев
Бібліографічний опис
Кинетика локального СВЧ разогрева полупроводников и диэлектриков / Ю. Е. Гордиенко, С. Ю. Ларкин, Н. И. Слипченко, Е. Л. Щербак // Радиотехника : Всеукр. межвед. науч.-техн. сб. – Харьков, 2014. – Вып. 177. – С. 98 – 104.