Публікація: Модель структуры информационно-аналитической системы управления качеством процесса выращивания монокристаллов полупроводников
Немає доступних мініатюр
Дата
2014
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
Анотація
Запропоновано модель інформаційно-аналітичної системи управління якістю процесу вирощування монокристалів, яка містить підсистему моніторингу температурних полів, багатокомпонентну математичну модель процесу вирощування, підсистему підтримки прийняття оперативних рішень з корекції режиму вирощування, підсистему оптимізації параметрів теплового екрана ростової установки.
In the paper, the authors have presented a new developed model of information and analytical quality control system for single-crystals growing. The model includes a temperature patterns monitoring sub-system, a multicomponent mathematical model of the growing process, a support sub-system for immediate decision making to correct the growth regime, and a sub-system for the parameters optimization of a heat shield of the growing facility. Introduction of the system offered allows for the growing process enhancement in terms of the outgoing product quality.
Опис
Ключові слова
информационно-аналитическая система, мониторинг, процесс выращивания
Бібліографічний опис
Левыкин В. М., Шевченко И. В. Модель структуры информационно-аналитической системы управления качеством процесса выращивания монокристаллов полупроводников // Вісник Академії митної служби України. – 2014. – № 2. – С. 63–71.