Модель структуры информационно-аналитической системы управления качеством процесса выращивания монокристаллов полупроводников

Abstract

Запропоновано модель інформаційно-аналітичної системи управління якістю процесу вирощування монокристалів, яка містить підсистему моніторингу температурних полів, багатокомпонентну математичну модель процесу вирощування, підсистему підтримки прийняття оперативних рішень з корекції режиму вирощування, підсистему оптимізації параметрів теплового екрана ростової установки. In the paper, the authors have presented a new developed model of information and analytical quality control system for single-crystals growing. The model includes a temperature patterns monitoring sub-system, a multicomponent mathematical model of the growing process, a support sub-system for immediate decision making to correct the growth regime, and a sub-system for the parameters optimization of a heat shield of the growing facility. Introduction of the system offered allows for the growing process enhancement in terms of the outgoing product quality.