Please use this identifier to cite or link to this item: http://openarchive.nure.ua/handle/document/1729
Title: Обработка сигнала в сканирующей микроволновой микроскопии
Authors: Гордиенко, Ю. Е.
Карнаушенко, В. П.
Чхотуа, М. С. Е.
Keywords: наноэлектроника
микроволновая микроскопия
СВЧ-резонатор
медтехника
Issue Date: 2011
Publisher: ХНУРЭ
Citation: Гордиенко, Ю. Е.Обработка сигнала в сканирующей микроволновой микроскопии / Ю. Е. Гордиенко // Функциональная база наноэлектроники : сб. науч. тр. IV Междунар. науч. конф., 30 сент. – 3 окт. 2011 г. – Х. ; Кацивели : ХНУРЭ, 2011. – С. 254–257.
Abstract: Using of scanning probe microscopes for material analysis is the prospective area of modern microelectronics. In present work actual questions of scanning microwave microscope signal processing are considered. Микроволновая сканирующая микроскопия (МСМС) является прогрессивным инструментом для решения задач диагностики характеристик материалов микро- и наноэлектроники. Суть метода заключается в измерении интегральных характеристик СВЧ-резонатора, который имеет высокую чувствительность к параметрам исследуемого объекта, внесенного в активную зону резонатора.
URI: http://openarchive.nure.ua/handle/document/1729
Appears in Collections:Международная научная конференция "Функциональная база наноэлектроники" Харьков-Кацивели 2011-2012

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
2525.doc444.5 kBMicrosoft WordView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.