Изоморфизм и аналогии в микросистемной технике

Abstract

Electromechanical analogies for static and dynamic modes of MEMS are described. These analogies are showed on usually using the laws of electricity and mechanics. Peculiarities of union mechanical and electrical components in single chip are noted. Material can be usefull in CAD of electromechanical devices. Объединение на уровне узлов и блоков в единую микросистему механических, электронных, оптических, акустических, магнитных, жидкостных и др. компонентов создает возможность дальнейшей микроминиатюризации и интеграции РЭА в соответствие с действием эмпирического закона Мура, оценивающую увеличение степени интеграции и быстродействия аппаратуры.