Публікація: Алгоритм трехмерной реконструкции электрофизических свойств в микроволновой сканирующей микроскопии
Немає доступних мініатюр
Дата
2011
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
ХНУРЭ
Анотація
The microwave tomography method is proposed, based on the separation of the reconstruction algorithm of scan results into three independent phase and layered reconstruction required distributions. Generalisation of 3-d reconstruction algorithm in case. Методы сканирующей зондовой микроскопии уже давно стали одним из основных средств исследований микро и наноструктур в различных областях науки и техники. Одним из таких методов является микроволновая сканирующая микроскопия (МСМ). К настоящему времени разработаны как различные микроволновые приставки к атомно-силовому микроскопу, так и серийный микроволновой микроскоп. В настоящей работе мы обобщим полученный нами ранее алоритм реконструкции распределения электрофизических свойств в методе МСМ на трехмерную задачу.
Опис
Ключові слова
микроволновая сканирующая микроскопия, микроволновой микроскоп, атомно-силовой микроскоп
Бібліографічний опис
Алгоритм трехмерной реконструкции электрофизических свойств в микроволновой сканирующей микроскопии / Ю. Е. Гордиенко, С. Ю. Ларкин, С. И. Мельник, Н. И. Слипченко // Функциональная база наноэлектроники : сб. науч. тр. IV Междунар. науч. конф., 30 сент. – 3 окт. 2011 г. – Х. ; Кацивели : ХНУРЭ, 2011. – С. 156–159.