Разработка графа классификации микроэлеткромеханических систем

Abstract

Предложена классификация микроэлеткромеханических систем для решения задач автоматизации проектирования технологических процессов изготовления. Выделены основные пять групп: простые устройства, исполнительные механизмы, элементы сопряжения конструкций микроэлектромеханических систем, механизмы воздействия; преобразователи и генераторы. The classification of MEMS for solving the computer-aided design problems of manufacturing process is proposed. There are five basic groups: simple devices, actuators, MEMS design coupling elements, mechanisms of action; transducers and generators.