Please use this identifier to cite or link to this item: http://openarchive.nure.ua/handle/document/1505
Title: Закономерности СВЧ модификации полупроводниковых тонкопленочных структур
Authors: Гордиенко, Ю. Е.
Слипченко, Н. И.
Полетаев, Д. А.
Проказа, А. М.
Пятайкина, М. И.
Keywords: СВЧ модификаторы
полупроводниковых тонкопленочных структур
сканирующие зондовые технологии
Issue Date: 2014
Publisher: Вебер
Citation: Закономерности СВЧ модификации полупроводниковых тонкопленочных структур / Ю. Е. Гордиенко и др. // СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии : материалы 24-й Междунар. Крымской конф. (КрыМиКо'2014), 7-13 сент. 2014 г. - Севастополь : Вебер, 2014. - Т. 2. - С. 763-764.
Abstract: В работе исследуются особенности нагрева, отжига и перелегирования полупроводниковых слоистых структур при помощи СВЧ излучателей с микроразмерной апертурой. Предложен вариант такого модификатора на основе конусного коаксиального волновода. Основное внимание уделяется локализации тепловыделения и специфике пространственно- временного распределения температуры в зависимости от электрических и тепловых параметров объектов исследования. The present paper concerns heating, annealing and redoping of semiconductor layered structures using a microwave radiator with a micron-sized aperture. We proposed a variant of such a modifier that is based on a conical coaxial waveguide. The study is focused on localization of heat and specific spatiotemporal distribution of temperature depending on the electrical and thermal parameters of the objects under study.
URI: http://openarchive.nure.ua/handle/document/1505
Appears in Collections:Международная Крымская конференция " СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии" ( КрыМиКо)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
0763_0764.pdf730.07 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.