Закономерности СВЧ модификации полупроводниковых тонкопленочных структур

Abstract

В работе исследуются особенности нагрева, отжига и перелегирования полупроводниковых слоистых структур при помощи СВЧ излучателей с микроразмерной апертурой. Предложен вариант такого модификатора на основе конусного коаксиального волновода. Основное внимание уделяется локализации тепловыделения и специфике пространственно- временного распределения температуры в зависимости от электрических и тепловых параметров объектов исследования. The present paper concerns heating, annealing and redoping of semiconductor layered structures using a microwave radiator with a micron-sized aperture. We proposed a variant of such a modifier that is based on a conical coaxial waveguide. The study is focused on localization of heat and specific spatiotemporal distribution of temperature depending on the electrical and thermal parameters of the objects under study.