Please use this identifier to cite or link to this item: http://openarchive.nure.ua/handle/document/1497
Title: Влияние изменения линейных размеров на электрические параметры компонентов микроэлектромеханических систем
Authors: Невлюдов, И. Ш.
Палагин, В. А.
Богдан, Ю. И.
Keywords: микроэлектромеханические системы
микросистемная техника
Issue Date: 2014
Publisher: Вебер
Citation: Невлюдов, И. Ш. Влияние изменения линейных размеров на электрические параметры компонентов микроэлектромеханических систем / И. Ш. Невлюдов, В. А. Палагин, Ю. И. Богдан // СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии : материалы 24-й Междунар. Крымской конф. (КрыМиКо'2014), 7-13 сент. 2014 г. - Севастополь : Вебер, 2014. - Т. 2. - С. 748-749.
Abstract: Теории подобия и размерностей физических величин (ТП и РФВ) содержат основные принципы для оценки изменения свойств МЭМС при уменьшении линейных размеров. Различные активные силы меняются по разным законам, эти силы перечислены. ТП и РФА могут использоваться для анализа и оценки изменения характеристик МЭМС. В докладе показаны некоторые основные тенденции микроминиатюризации. Similitude and dimension physical quantities theories (TS and DPQ) are basic principles for estimation of changing properties of MEMS with decreasing a linear scale. Different active forces changes with distinguish laws and these forces are enumerated. TS and DPQ can be used for analysis and estimation changing characteristics of MEMS. In the report some principle tendencies of miniaturization are shown.
URI: http://openarchive.nure.ua/handle/document/1497
Appears in Collections:Международная Крымская конференция " СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии" ( КрыМиКо)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
0746_0747.pdf265.68 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.