Публікація: Огляд сучасних акселерометрів та їх сфери застосування
Завантаження...
Дата
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тому
Видавець
ХНУРЕ
Анотація
This work had done for review and analysis of current accelerometers and their scope of application. Overviewed MEMS technology, 3D-MEMS, CoM (Chip on MEMS) and CoB (Chip on Board) concepts, NEMS concept and scope of application of MEMSaccelerometers, also their perspective further development.
Опис
Ключові слова
МЕМС, 3D МЕМС, CoM, CoB, NEMS, чутливий елемент, види акселерометрів
Цитування
Горожеєв В. В. Огляд сучасних акселерометрів та їх сфери застосування
/ В. В. Горожеєв // Automation and Development of Electronic Devices (АDED'2019) : зб. студ. наук. ст. – Харків : ХНУРЕ, 2019. – Вип. 2. – С. 38-42.