Please use this identifier to cite or link to this item:
Title: Измерения расстояний методом спектральной интерферометрии в микро- и нанометровом диапазоне
Authors: Лукин, К. А.
Мачехин, Ю. П.
Данаилов, М. Б.
Татьянко, Д. Н.
Keywords: интерферометрические измерения
метод спектральной интерферометрии
стабильность частоты лазера
Issue Date: 2010
Publisher: ХНУРЭ
Citation: Измерения расстояний методом спектральной интерферометрии в микро- и нанометровом диапазоне / К. А. Лукин и другие // Функциональная компонентная база микро-, опто- и наноэлектроники : сб. науч. тр. ІІІ Междунар. науч. конф., 28 сент. – 2 окт. 2010 г. – Х. ; Кацивели : ХНУРЭ, 2010. – С. 72-75.
Abstract: The paper presents results of the optical interferometry investigations with use of low-coherent optical sources beyond their coherence zone. It is shown that when the path difference of arms in Michelson interferometer exceeds the coherence length of light-emitting diode radiation, the interference pattern in spectral domain enables to perform absolute measurements of micro and nano distances due to its dependence on both time delay and relative phase of the signals. Недостаточная кратковременная стабильность частоты лазера не позволяет выполнять интерферометрические измерения микро и нано расстояний, что существенно ограничивает применение лазерных интерферометров для измерения нано расстояний.
Appears in Collections:3 Международная научная конференция "Функциональная компонентная база микро-,опто- и наноэлектроники. Харьков-Кацивели 2010

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
1(72-75).doc345.5 kBMicrosoft WordView/Open

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.