Публікація: Измерения расстояний методом спектральной интерферометрии в микро- и нанометровом диапазоне
Немає доступних мініатюр
Дата
2010
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
ХНУРЭ
Анотація
The paper presents results of the optical interferometry investigations with use of low-coherent optical sources beyond their coherence zone. It is shown that when the path difference of arms in Michelson interferometer exceeds the coherence length of light-emitting diode radiation, the interference pattern in spectral domain enables to perform absolute measurements of micro and nano distances due to its dependence on both time delay and relative phase of the signals. Недостаточная кратковременная стабильность частоты лазера не позволяет выполнять интерферометрические измерения микро и нано расстояний, что существенно ограничивает применение лазерных интерферометров для измерения нано расстояний.
Опис
Ключові слова
интерферометрические измерения, метод спектральной интерферометрии, стабильность частоты лазера
Бібліографічний опис
Измерения расстояний методом спектральной интерферометрии в микро- и нанометровом диапазоне / К. А. Лукин и другие // Функциональная компонентная база микро-, опто- и наноэлектроники : сб. науч. тр. ІІІ Междунар. науч. конф., 28 сент. – 2 окт. 2010 г. – Х. ; Кацивели : ХНУРЭ, 2010. – С. 72-75.