Please use this identifier to cite or link to this item: http://openarchive.nure.ua/handle/document/1110
Title: Возможности проведения микроволновой сканирующей дефектометрии полупроводниковых материалов и структур
Authors: Мельник, С. И.
Гордиенко, Ю. Е.
Слипченко, Н. И.
Keywords: полупроводниковые материалы
пространственное разрешение
коаксиальный резонатор
микроволновая сканирующая дефектометрия
Issue Date: 2010
Publisher: ХНУРЭ
Citation: Мельник, С. И. Возможности проведения микроволновой сканирующей дефектометрии полупроводниковых материалов и структур / С. И. Мельник, Ю. Е. Гордиенко, Н. И. Слипченко // Функциональная компонентная база микро-, опто- и наноэлектроники : сб. науч. тр. ІІІ Междунар. науч. конф., 28 сент. – 2 окт. 2010 г. – Х. ; Кацивели : ХНУРЭ, 2010. – С. 99-102.
Abstract: The problem of microwave scanning non-destructive testing semiconductors. We show that the defects can be represented by equivalent dipole sources of the field, distributed in their volume. On the basis of a given field, analytical expressions for the generalized parameters of the defect. It is shown that to determine the parameters of both local and distributed defects, it is enough to measure the additional insertion in the aperture equivalent capacitance sensor for two values of the gap between the sensor and the surface of the semiconductor. В современных технологиях производства электронных компонентов возникает потребность в измерении пространственного распределения электрофизических свойств полупроводниковых материалов и структур. В последнее время в связи с миниатюризацией электронных компонентов и устройств особые требования предъявляются как к точности измерения, так и к пространственной разрешающей способности контроля.
URI: http://openarchive.nure.ua/handle/document/1110
Appears in Collections:3 Международная научная конференция "Функциональная компонентная база микро-,опто- и наноэлектроники. Харьков-Кацивели 2010

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
1(99-102).doc219 kBMicrosoft WordView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

Admin Tools