Гордиенко, Ю. Е.Гуд, Ю. И.Сухоруков, И. В.2021-11-202021-11-201997Гордиенко Ю. Е. Развитие техники безэлектродного СВЧ-контроля удельного сопротивления полупроводников / Ю. Е. Гордиенко, Ю. И. Гуд, И. В. Сухоруков // Радиотехника : всеукр. межвед. науч.–техн. сб. – 1997. – Вып. 104. – С. 56–61.https://openarchive.nure.ua/handle/document/18282Рассмотрены вопросы, связанные с повышением точности измерения удельного сопротивления полупроводниковых пластин безэлектродным СВЧ- резонаторным методом за счет снижения влияния мешающих факторов. Предложен метод формирования сигнала измерительной информации, инвариантного по отношению к мешающим факторам, в виде комбинации основных сигналов резонаторного измерительного преобразователя. Приведена структурная схема СВЧ-измерителя удельного сопротивления полупроводниковых пластин, реализующего предложенную методикуruрадиотехникарезонаторный методArticle