Гордиенко, Ю. Е.Ларкин, С. Ю.Мельник, С. И.Слипченко, Н. И.2016-08-012016-08-012011Алгоритм трехмерной реконструкции электрофизических свойств в микроволновой сканирующей микроскопии / Ю. Е. Гордиенко, С. Ю. Ларкин, С. И. Мельник, Н. И. Слипченко // Функциональная база наноэлектроники : сб. науч. тр. IV Междунар. науч. конф., 30 сент. – 3 окт. 2011 г. – Х. ; Кацивели : ХНУРЭ, 2011. – С. 156–159.http://openarchive.nure.ua/handle/document/1693The microwave tomography method is proposed, based on the separation of the reconstruction algorithm of scan results into three independent phase and layered reconstruction required distributions. Generalisation of 3-d reconstruction algorithm in case. Методы сканирующей зондовой микроскопии уже давно стали одним из основных средств исследований микро и наноструктур в различных областях науки и техники. Одним из таких методов является микроволновая сканирующая микроскопия (МСМ). К настоящему времени разработаны как различные микроволновые приставки к атомно-силовому микроскопу, так и серийный микроволновой микроскоп. В настоящей работе мы обобщим полученный нами ранее алоритм реконструкции распределения электрофизических свойств в методе МСМ на трехмерную задачу.ruмикроволновая сканирующая микроскопиямикроволновой микроскопатомно-силовой микроскопConference proceedings