Демская, Н. П.Невлюдов, И. Ш.Боцман, И. В.Невлюдова, В. В.Стародубцев, Н. Г.2020-07-012020-07-012020Эксплуатационные характеристики гибких печатных структур МЭМС-устройств / Н. П. Демская, И. Ш. Невлюдов, И. В. Боцман и др. // Напівпровідникові матеріали, інформаційні технології та фотовольтаїка : тези доп. VІ Міжнар. наук.-практ. конф., 14-16 травня 2020 р. - Кременчук : Кременчуцький нац. ун-т. - С. 62.http://openarchive.nure.ua/handle/document/12356Гибкие печатные структуры, а именно платы и шлейфы, широко используются в составе сенсорных и исполнительных устройств в микроэлектромеханическом (МЭМС) исполнении. В ходе эксплуатации ГПС подвергаются ряду дестабилизирующих воздействий, которые могут существенно повлиять на работу микросистем на их основе. Самыми опасными из них являются упруго-пластические деформации ГПС от многократных изгибов или так называемая малоцикловая усталость материала. Поэтому целью исследования являлось установление зависимости параметров долговечности медно-полиимидных ГПС от конструктивно-технологических решений и составление рекомендаций по увеличению их качества.ruгибкие печатные структурысенсорные устройстваМЭМСThesis