Моделювання спрацьовування високочастотного MEMS-перемикача під впливом різних частот - Захарова, К. С. (My University, 2019)
Об’єкт дослідження – процес спрацьовування високочастотного МЕМС-перемикача. Предмет дослідження – механічне спрацьовування ВЧ МЕМС-перемикача під впливом частот. Мета магістерської атестаційної роботи – провести дослідження ВЧ МЕМС-перемикача, виконати симуляцію під впливом різних частот в AWR Design Environment та промоделювати механічне спрацювання у COMSOL Multiphysics. Методи дослідження – математичні методи розрахунку, методи електромеханічного моделювання в AWR, метод симуляції у COMSOL Multiphysics. В роботі приведені розрахунки напруги спрацьовування для електромеханічної моделі МЕМС-перемикача, коефіцієнту пружності мембрани, внутрішньої напруги в мембрані та проектування і моделювання еквівалентної електричної схеми. На базі отриманих розрахунків розроблена 3D модель ВЧ МЕМС-перемикача. Для доведення правильності розрахунків проведене моделювання, яке визначило значення механічних властивостей, напругу спрацьовування та жорсткість пружини. Результати магістерської атестаційної роботи апробовані на конференції M&MS 2019.
Keywords: MEMS; перемикач; кантилевер; awr design environment; comsol; matlab; мембрана