Принципы разработки емкостных датчиков влажности газовых сред - Гордиенко, Ю. Е.; Гуд, Ю. И.; Пашков, А. В.; Слипченко, Н. И. (ХТУРЭ, 2001)
Рассматриваются принципы построения емкостных тонкопленочных датчиков влажности газовых сред, направленные на повышение их метрологической эффективности.
Keywords: тонкопленочный датчик; влажность газовых сред; метрологическая эффективность