Гордиенко, Ю. Е.Гуд, Ю. И.Пашков, А. В.Слипченко, Н. И.2019-09-262019-09-262001Принципы разработки емкостных датчиков влажности газовых сред / Ю. Е. Гордиенко, Ю. И. Гуд, А. В. Пашков, Слипченко Н. И. // Радиоэлектроника и информатика : науч.-техн. журн. – Х. : ХТУРЭ, 2001. – Вып. 2. – С. 38–41.http://openarchive.nure.ua/handle/document/9801Рассматриваются принципы построения емкостных тонкопленочных датчиков влажности газовых сред, направленные на повышение их метрологической эффективности.ruтонкопленочный датчиквлажность газовых средметрологическая эффективностьArticle