Захарова, К. С.Євсєєв, В. В.2019-10-252019-10-252019Захарова, К. С. Аналіз типів МЕМС перемикачів, їх переваги та недоліки / К. С. Захарова, В. В. Євсєєв // Виробництво & Мехатронні Системи 2019 : матеріали III Міжнар. конф., 24-25 жовтня 2019 р. – Харків : ХНУРЕ, 2019. – С. 32 - 35.http://openarchive.nure.ua/handle/document/10067В даному матеріалі представлені типи МЕМС перемикачів, їх конструкції, використовувані матеріали, параметри, принцип роботи. Виявлено їх переваги і недоліки. Проведено аналіз відмов МЕМС перемикачів.ukМЕМСелектростатичні МЕМСп'єзоелектричні перемикачівисокочастотні перемикачірезистивні перемикачіємнісні перемикачіаналіз відмовThesis