Невлюдов, И. Ш.Филипенко, А. И.2016-06-222016-06-222014Создание экспериментальных образцов компонентов микросистемной техники для производств с интеллектуальными свойствами и их внедрение : отчет о НИР (заключ.) : 277 / Харков. нац. ун-т радиоэлектроники ; руководитель д-р техн. наук. проф. И. Ш. Невлюдов. – Харков, 2014. – 183 с.http://openarchive.nure.ua/handle/document/1094Целью разработки является совершенствование и практическое внедрение МЭМС по собственным патентам и техническими решениями, интеллектуальных приборов в разработке и производство.ruМЭМСмикросхемакоммутационная платасамотестированиесамомониторнигмикроструктурированные волоконаTechnical Report