Міщенко, В. О.2024-03-182024-03-182023Міщенко В. О. Імітаційна модель проектування інерційного МЕМC-сенсора з використанням пакету Matlab/Simulink : пояснювальна записка до кваліфікаційної роботи здобувача вищої освіти на другому (магістерському) рівні, спеціальність 123 Комп’ютерна інженерія / В. О. Міщенко ; М-во освіти і науки України, Харків. нац. ун-т радіоелектроніки. – Харків, 2023. – 68 с.https://openarchive.nure.ua/handle/document/26114В кваліфікаційній роботі проаналізовано сучасний стан МЕМС, динаміку ринку інерційних МЕМС-сенсорів, проаналізовано особливості проектування і виготовлення МЕМС, розглянуто класифікацію та типи сучасних акселерометрів. Об'єктом є МЕМС-акселерометри в рухомих об’єктах. Предметом дослідження - моделі мікромеханічних МЕМС акселерометрів в Matlab/Simulink. Розглянуто конструкцю та принцип роботи акселерометра, отримано рівняння динаміки лсьового МЕМС-акселерометра, розроблено електричну модель ємнісного МЕМС-акселерометра. За допомогою процедур моделювання розроблено Simulink-модель механічної системи акселерометра. Iмітаційна модель механічного компонента ємнісного МЕМС-акселерометра була розроблена з використанням пакету Matlab/Simulink. На основі розробленої моделі проведено поведінкове моделювання чутливого елемента MEМС акселерометра, отримано графіки залежностей, що підтверджують отримані математичні моделі акселерометрамікроелектромеханічна системаінерційний МЕМС-сенсоракселерометрприскоренняOther