Мачехин, Ю. П.Данелян, А. Г.Гарибашвили, Д. И.2019-05-152019-05-152007Мачехн Ю. П. Частотные методы измерения линейных наноразмеров. / Ю. П. Мачехин, А. Д. Данелян, Д. И. Гарибашвили // 1-я Международная научная конференция «электронная компонентная база. Состояние и перспективы развития » - 2008 - стр. 236-240http://openarchive.nure.ua/handle/document/8690В лучших системах с применением лазерных интерферометров перемещений (ЛИП), которые созданы для метрологического обеспечения измерений длин в нанометровом диапазоне, обеспечиваются измерения малых длин в диапазоне с разрешающей способностью порядка 0,03-0,02 нм.ruинтерферометрлазерAbstract of Thesis