Частотные методы измерения линейных наноразмеров - Мачехин, Ю. П.; Данелян, А. Г.; Гарибашвили, Д. И. (ХНУРЭ, 2007)
В лучших системах с применением лазерных интерферометров перемещений (ЛИП), которые созданы для метрологического обеспечения измерений длин в нанометровом диапазоне, обеспечиваются измерения малых длин в диапазоне с разрешающей способностью порядка 0,03-0,02 нм.
Keywords: интерферометр; лазер