Фізико технологічна база для побудови математичної моделі прогнозування дефектів у підкладках функціональних компонентів МОЕМС - Чала, О. О.; Невлюдов, І. Ш.; Нелюдова, В. В. (Кременчуцький національний університет імені Михайла Остроградського, 2022)
Проведено детальний аналіз основних виробничих дефектів підкладок ФК MОEMС на етапі їх виробництва, що дає підґрунтя для розроблення фізико-технологічної моделі прогнозування дефектів підкладок ФК МОЕМС, яка буде враховуєвати якість підкладок та дозволить пронозувати та корегувати параметри технологічного процесу виготовлення.
Keywords: МОЕМС; виробничі дефекти; прогнозування дефектів; функціональні компоненти