Чала, О. О.Невлюдов, І. Ш.Нелюдова, В. В.2022-07-112022-07-112022Чала О. О. Фізико технологічна база для побудови математичної моделі прогнозування дефектв у підкладках функціональних компонентів МОЕМС / О. О. Чала, І. Ш. Невлюдов, В. В. Невлюдова // Напівпровідникові матеріали, інформаційні технології та фотовольтаїка : матеріали VIІ Міжнар. наук.-практ. конф. : тези доп. − Кременчук: Кременчуцький нац. ун-т ім. Михайла Остроградського, 2022. – С. 32-33.https://openarchive.nure.ua/handle/document/20666Проведено детальний аналіз основних виробничих дефектів підкладок ФК MОEMС на етапі їх виробництва, що дає підґрунтя для розроблення фізико-технологічної моделі прогнозування дефектів підкладок ФК МОЕМС, яка буде враховуєвати якість підкладок та дозволить пронозувати та корегувати параметри технологічного процесу виготовлення.ukМОЕМСвиробничі дефектипрогнозування дефектівфункціональні компонентиOther