Хорошайло, Ю. Е.Светличный, В. А.Мулявка, О. В.Сова, А. В.2018-06-252018-06-252017Особенности выявления дефектов тонких электропроводящих пленок / В. А.Светличный, Ю. Е. Хорошайло, О. В. Мулявко, А. В. Сова. // Вісник Нац. техн. ун-ту "ХПІ" : зб. наук. пр. Сер. : Електроенергетика та перетворювальна техніка. – 2017. – № 4. – С. 72–77.http://openarchive.nure.ua/handle/document/6345В результате изучения свойств и структуры тонких пленок, показано что свойства и структура тонких пленок значительно отличается от тех же параметров объемного материала. Физические процессы происходящие во время образования пленок обуславливают индивидуальную специфику свойств и структуры. Поэтому, одним из основных показателей качества металлических тонких пленок является отсутствие дефектов. В работе рассмотрены вопросы теории появления дефектов тонких электропроводящих пленок. Выполнен анализ влияния главных электрических параметров пленок на наличие дефектов структуры пленок. Показаны иные возможные виды дефектов пленок и определены способы их выявленияruтонкие электропроводящие пленкипористость структуртеория дефектовArticle