Невлюдов, І. Ш.Гурін, В. М.Гурін, Д. В.2019-10-252019-10-252019Невлюдов І. Ш. Процеси деградації окисних плівок на поверхні метал/оксид / І. Ш. Невлюдов, В. М. Гурін, Д. В. Гурін // Виробництво & Мехатронні Системи 2019 : матеріали III Міжнар. конф., 24-25 жовт. 2019 р. , – Харків : ХНУРЕ, 2019. – С. 76 - 78.http://openarchive.nure.ua/handle/document/10041У тезах представлені результати досліджень деградації оксидних діелектриків Nb2O5 та Ta2O5 викликаних термічною кристалізацією. Встановлено, що розчинення кисню в ніобії та танталі сприяє пригніченню деградаційної процесу, пов'язаного з відновленням аморфного оксиду базовим металом. Показано, що в результаті окисно-відновних реакцій на міжфазних межах шаруватої структури кисень з оксиду дифундує в метал, окислюючи останній. Сам оксид при цьому відновлюється, що призводить до локальних порушень хімічного складу оксидуukніобійтанталдеградаціяоксидний діелектриккристалізаціяThesis