Чубукін, О. С.2021-12-282021-12-282021Чубукин А. С. Исследование деградации в системе Nb - Nb2О5 электрографическим методом / А. С. Чубукин // Priority directions of science and technology development : Proceedings of the 9th International scientific and practical conference. SPC “Sci-conf.com.ua”. - Kyiv, Ukraine. 2021. - Pp. 421-427.https://openarchive.nure.ua/handle/document/18825Исследовалась деградация электрофизических параметров тонких пленок системы Nb-Nb2O5 путем анализа пространственного распределения неоднородностей в них после отжига электрографическим методом. Установлено, что при температуре отжига до 250С деградация электрофизических параметров пленок осуществлялась вследствие зернограничной диффузии кислорода внутрь подложек Nb. При температуре отжига выше 250 С деградация тех же параметров осуществлялась вследствие объемной диффузии кислорода кислорода внутрь подложек Nb. Отжиг при температурах больших 300 С вызывал деградацию пленок Nb2O5, связанную с их локальной кристаллизацией..ruдефекты в диэлектрических пленкахметод электрографиидеградация электрофизических параметров диэлектрических пленокConference proceedings