Исследование деградации в системе Nb - Nb2О5 электрографическим методом - Чубукін, О. С. (My University, 2021)
Исследовалась деградация электрофизических параметров тонких пленок системы Nb-Nb2O5 путем анализа пространственного распределения неоднородностей в них после отжига электрографическим методом. Установлено, что при температуре отжига до 250С деградация электрофизических параметров пленок осуществлялась вследствие зернограничной диффузии кислорода внутрь подложек Nb. При температуре отжига выше 250 С деградация тех же параметров осуществлялась вследствие объемной диффузии кислорода кислорода внутрь подложек Nb. Отжиг при температурах больших 300 С вызывал деградацию пленок Nb2O5, связанную с их локальной кристаллизацией..
Keywords: дефекты в диэлектрических пленках; метод электрографии; деградация электрофизических параметров диэлектрических пленок