Пятайкіна, М. І.Стрілкова, Т. О.2025-04-192025-04-192025Пятайкіна М. І. Інформаційні технології в діагностиці процесів дефектоутворення мікро- та наноелектронних структур / М. І. Пятайкіна, Т. О. Стрілкова // Радіоелектроніка та молодь у XXI столітті : матеріали 29-го Міжнар. молодіж. форуму, 16–19 квітня 2025 р. – Харків : ХНУРЕ, 2025. – Т. 1. – С. 50–52.https://openarchive.nure.ua/handle/document/30379The paper presents a method for diagnosing defect formation processes in micro- and nanostructures based on information technologies. The entropy analysis method was used. Statistical parameter calculations of technological images were performed. Mathematical modeling of a defect recognition algorithm for various spatial dimensions is presented.ukдефектоутвореннядіагностика процесів дефектоутворенняThesis