Невлюдов, І. Ш.Свищ, В. М.Палагін, В. А.2018-05-162018-05-162005Невлюдов І. Ш. Класифікація технологій мікроелектромеханічних систем / І. Ш. Невлюдов, В. М. Свищ, В. А. Палагін // сб. науч. тр. 2-го Международного радиоэлектронного форума «Прикладная радиоэлектроника. Состояние и перспективы развития», МРФ-2005, 19–23 сентября 2005 г. – Х. : ХНУРЭ, 2005. – Т. 1 – С. 111–114.http://openarchive.nure.ua/handle/document/5257Робота присвячена класифікації технологій мікроелектромеханічних системukмікроелектромеханічны системинанотехнологіїArticle