Синтез оптимальных свч резонаторных измерительных преобразователей для контроля параметров пленок на низкоомных подложках - Гордиенко, Ю. Е.; Гуд, Ю. И. (Вища школа, 1987)
Проведена оптимизация параметров СВЧ измерительных преобразователей (ИП) накладного типа на основе цилиндрических резонаторов с H012-, E 022-видами колебаний, применяемых для неразрушающего контроля толщины и электропроводности полупроводниковых пленок на низкоомных подложках.
Keywords: радиотехника; полупроводниковые пленки