Гордиенко, Ю. Е.Гуд, Ю. И.2022-04-222022-04-221987Гордиенко Ю. Е. Синтез оптимальных свч резонаторных измерительных преобразователей для контроля параметров пленок на низкоомных подложках / Ю. Е. Гордиенко, Ю. И. Гуд // Радиотехника : респ. межведомств. науч.-техн. сб. – 1987. – Вып. 80. – С. 105–112.https://openarchive.nure.ua/handle/document/20202Проведена оптимизация параметров СВЧ измерительных преобразователей (ИП) накладного типа на основе цилиндрических резонаторов с H012-, E 022-видами колебаний, применяемых для неразрушающего контроля толщины и электропроводности полупроводниковых пленок на низкоомных подложках.ruрадиотехникаполупроводниковые пленкиСинтез оптимальных свч резонаторных измерительных преобразователей для контроля параметров пленок на низкоомных подложкахArticle