Оценивание неопределенности измерения масштабного коэффициента видеоизображения растрового электронного микроскопа - Неежмаков, К. П. (ХНУРЕ, 2020)
Для использования растровой электронной микроскопии в качестве средства измерительной техники необходимо производить его калибровку с помощью вещественных носителей размера – мер с программируемым нанорельефом поверхности. Представлена процедура оценивания неопределенности измерения масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ, выполненная на основе метода эксцессов, включающая бюджет неопределенности, позволяющий автоматизировать процесс оценки неопределенности и повысить достоверность получаемых результатов.
Keywords: неопределенность измерений; электронный микроскоп