Неежмаков, К. П.2020-12-292020-12-292020Неежмаков К. П. Оценивание неопределенности измерения масштабного коэффициента видеоизображения растрового электронного микроскопа / К. П. Неежмаков // // Метрологія, інформаційно-вимірювальні технології та системи (МІВТС-2020) : матеріали VII Міжнар. наук.-практ. конф., 18–19 лютого 2020 р. – Харків : ХНУРЕ, 2020. – С. 96.http://openarchive.nure.ua/handle/document/14035Для использования растровой электронной микроскопии в качестве средства измерительной техники необходимо производить его калибровку с помощью вещественных носителей размера – мер с программируемым нанорельефом поверхности. Представлена процедура оценивания неопределенности измерения масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ, выполненная на основе метода эксцессов, включающая бюджет неопределенности, позволяющий автоматизировать процесс оценки неопределенности и повысить достоверность получаемых результатов.ruнеопределенность измеренийэлектронный микроскопArticle