Гордиенко, Ю. Е.Ларкин, С. Ю.Сорока, А. С.2016-08-012016-08-012011Гордиенко, Ю. Е. Вопросы обработки первичных данных при ближнеполевой микроволновой микроскопии полупроводников / Ю. Е. Гордиенко, С. Ю. Ларкин, А. С. Сорока // Функциональная база наноэлектроники : сб. науч. тр. IV Междунар. науч. конф., 30 сент. – 3 окт. 2011 г. – Х. ; Кацивели : ХНУРЭ, 2011. – С. 264–267.http://openarchive.nure.ua/handle/document/1702e-mail: mepu@kture.kharkov.ua In the report the analysis of the basic problems of processing of the primary measuring information in scanning microwave near field microscopy of semiconductors is presented and features of construction of radio images of samples are considered. Цель данной работы: анализ основных проблем обработки первичной изме-рительной информации в ближнеполевой сканирующей микроскопии полупроводников и выработка эффективных алгоритмов получения изображений образцов.ruнаноэлектроникамикроволновая микроскопиямедицинская техникаConference proceedings