Стеценко, К. В.2020-06-212020-06-212020Стеценко К. В. Аналiз iтерферометрiв для контролю форм поверхонь / К. В. Стеценко // Автоматизація та приладобудування = Automation and Development of Electronic Devices (АDED'2020) : зб. студ. наук. ст. – Харків : ХНУРЕ, 2020. – Вип. 1. – С. 100–105.http://openarchive.nure.ua/handle/document/12278На основі літературних даних і публікацій аналізуються різні типи інтерферометра. Розглянуті основні переваги і недоліки різних типів інтерферометрів.ukінтерферометриАналiз iтерферометрiв для контролю форм поверхоньOther