О синтезе СВЧ резонаторных измерительных преобразователей для фотомодуляционной диагностики полупроводниковых структур - Гордиенко, Ю. Е.; Бородин, Б. Г.; Криворучко, В. И. (Основа, 1993)
Заметным достижением в .развитии микроволновой диагностики полупроводниковых материалов явилось создание СВЧ фотомодуляционного метода контроля параметров эпитаксиальных структур. В числе несомненных достоинств этого метода, таких как безэлектродность измерений и их неразрушающий характер, безусловно, следует назвать также его универсальность (то есть применимость для определения большинства электрофизических параметров полупроводниковой слоистой структуры и легко реализуемую возможность высоколокальных измерений.
Keywords: радиотехника; микроволновая диагностика; метод контроля параметров