Гордиенко, Ю. Е.Бородин, Б. Г.Криворучко, В. И.2022-03-212022-03-211993Гордиенко Ю. Е. О синтезе СВЧ резонаторных измерительных преобразователей для фотомодуляционной диагностики полупроводниковых структур / Ю. Е. Гордиенко, Б. Г. Бородин, В. И. Криворучко // Радиотехника : респ. межведомств. науч.-техн. сб. – 1993. – Вып. 98. – С. 72–79.https://openarchive.nure.ua/handle/document/19895Заметным достижением в .развитии микроволновой диагностики полупроводниковых материалов явилось создание СВЧ фотомодуляционного метода контроля параметров эпитаксиальных структур. В числе несомненных достоинств этого метода, таких как безэлектродность измерений и их неразрушающий характер, безусловно, следует назвать также его универсальность (то есть применимость для определения большинства электрофизических параметров полупроводниковой слоистой структуры и легко реализуемую возможность высоколокальных измерений.ruрадиотехникамикроволновая диагностикаметод контроля параметровArticle