Фотомодуляционная СВЧ диагностика полупроводниковых структур - Гордиенко, Ю. Е.; Бородин, Б. Г.; Рябухин, А. А. (ХТУРЭ, 1999)
Рассмотрены вопросы применения модуляционной методики выделения сигналов измерительной информации, обеспечивающей повышение чувствительности и точности измерений, а также ослабляющей зависимость их результатов от всевозможных мешающих факторов. Предложено принципиальное решение, позволяющее устранить влияние мешающих факторов, рассмотрены методы исследования рекомбинационных процессов в полупроводниках, приведена функциональная схема установки для фотомодуляционной диагностики полупроводников при помощи техники СВЧ.
Keywords: измерительная информация; точность измерений; мешающий фактор