Шевченко, І. В.2016-09-132016-09-132015Шевченко І. В. Методи, моделі та інформаційні технології моніторингу і оптимізації процесу вирощування монокристалів напівпровідників : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.13.06 "Інформаційні технології" / І. В. Шевченко ; М-во освіти і науки України, Харків. нац. ун-т радіоелектроніки. – Харків, 2015. – 39 с.http://openarchive.nure.ua/handle/document/2431Сформулевано і розв'язано актуальну науково-прикладну проблему створення теоретичніх та прикладніх основ інформаційної підтримки процесу вирощування монокристалів напівпровідників і процесів оптимізації параметрів технологічної оснастки для забезпечення підвищення якості продукції. Запропоновано модель інформаційно- аналітичної системи управління якістю, модель підсистеми підтримки прийняття оперативних рішень для корекції процесу вирощування монокристалів, метод побудови прикладної інформаційної технології діагностики стану складного виробничого процесу, модель підсистеми прийняття оперативних рішень. Для інформаційного забезпечення моніторингу процесу вирощування запропоновано нейромережеву модель розрахунку температурного поля в розплаві нечіткий навчений клітинний автомат. Розроблено інформаційну технологію моніторингу та візуалізації температурного поля в процесі вирощування монокристалів.ukмоделіметодиінформаційні технологіїуправління якістюмоніторингпроцеси вирощування монокристалівдіагностика ситуаційпідтримка прийняття рішеньінформаційно-аналітична системаmodelsmethodsinformation technologyquality controlmonitoringsingle-crystalsgrowthsituations diagnosisdecision-making supportinformational analytical systemМетоди, моделі та інформаційні технології моніторингу і оптимізації процесу вирощування монокристалів напівпровідниківArticle