Бондаренко, Ю. В.2023-02-232023-02-232019Бондаренко Ю. В. Примеры использования МЭМС устройств / Ю. В. Бондаренко // Радіоелектроніка та молодь у ХХІ столітті : матеріали 23 Міжнар. молодіж. форуму, 16–18 квітня 2019 р. – Харків : ХНУРЕ, 2019. – Т. 2. – С. 25–26.https://openarchive.nure.ua/handle/document/22170In the materials reviewed information on microelectromechanical sys-tems, examples of the use of MEMS devices in various devicesukConference proceedings