Дефектоутворення, як основа Defect Engineering в МЕМС та МОЕМС - Чала, О. О. (НТЖ «Технология приборостоения», 2020)
В роботі поставлено мету виділення основних дефектів, що утворюються при використанні кремнію, як матеріалу, для виготовлення підкладок мікроелектромеханічних систем (МЕМС) та мікрооптоелектромеханічних систем (МОЕМС). Показано, що моделювання і відображення процесів розвитку виробничих дефектів для передбачення параметричних відмов, зміни і коректування технологічних процесів виробництва МЕМС та МОЕМС є актуальним науково-практичним завданням, яке можна спробувати вирішити на основі defect engineering.
Keywords: дефектоутворення; технологічний процес; МЕМС; МОЕМС; кремнієві структури; підкладки МЕМС; defect engineering