Гордиенко, Ю. Е.Ларкин, С. Ю.Шиян, О. П.2016-05-292016-05-292012Гордиенко, Ю. Е. Количественный анализ разрешающей способности зондовой сканирующей микроволновой микроскопии / Ю. Е. Гордиенко, С. Ю. Ларкин, О. П. Шиян // Прикладная радиоэлектроника : науч.-техн. журн. – Х. : ХНУРЭ, 2012. – Т. 11, № 3. – С. 426–430.http://openarchive.nure.ua/handle/document/310В работе приводятся результаты численного исследования зависимости распределения ближнего поля резонаторных зондов в сканирующей микроволновой микроскопии от размера острия зонда и влияния этого параметра на величину сигналов сканирования. Полученные результаты позволяют сделать вывод о том, что пространственная разрешающая способность и контрастность микроскопии с использованием указанных зондов практически линейно зависят от радиуса острия. Это упрощает решение проблемы одновременного повышения контрастности и разрешающей способности сканирующей микроволновой микроскопии. The paper gives results of numerical study of dependence distribution of the near field of resonator probes in scanning microwave microscopy (SMM) on the size of a probe tip and influence of this parameter on the value of scanning signals. The results obtained allow to make a conclusion that the spatial resolution and microscopy contrast with the use of the said probes are almost linearly dependent on the tip radius. This simplities the solution of the problem of simultaneous contrast enhancement and SMM resolution.ruзондовая сканирующая микроволновая микроскопия (ЗСММ)резонаторный зондпространственная разрешающая способность (ПРС)scanning probe microwave microscopyresonator probespatial resolutionArticle