Слипченко, Н. И.2018-11-162018-11-161998Слипченко Н. И. Моделирование диффузионных процессов при образовании слоев силицидов / Н. И. Слипченко // Радиоэлектроника и информатика : науч.-техн. журн. – Х. : ХНУРЭ, 1998. – Вып. 2. – С. 156-158.http://openarchive.nure.ua/handle/document/7290Представлен краткий обзор процесса образования силицидов. Рассмотрена диффузия с одной движущейся страницейruсилицидобразование силицидовинтегральная схемаArticle