Особенности выявления дефектов тонких электропроводящих пленок - Светличный, В. А.; Хорошайло, Ю. Е.; Мулявка, О. В.; Сова, А. В. (ХПІ, 2017)
В результате изучения свойств и структуры тонких пленок, показано что свойства и структура тонких пленок значительно отличается от тех же параметров объемного материала. Физические процессы происходящие во время образования пленок обуславливают индивидуальную специфику свойств и структуры. Поэтому, одним из основных показателей качества металлических тонких пленок является отсутствие дефектов. В работе рассмотрены вопросы теории появления дефектов тонких электропроводящих пленок. Выполнен анализ влияния главных электрических параметров пленок на наличие дефектов структуры пленок. Показаны иные возможные виды дефектов пленок и определены способы их выявления
Keywords: тонкая электропроводящая пленка; толщина и форма пленки; пористость структур; поверхностная плотность островков