Светличный, В. А.Хорошайло, Ю. Е.Мулявка, О. В.Сова, А. В.2018-05-162018-05-162017Светличный В. А. Особенности выявления дефектов тонких электропроводящих пленок / В. А. Светличный, Ю. Е. Хорошайло, О. В. Мулявка, А. В. Сова // Вісник національного технічного університету «ХПІ», серія «Електроенергетика та перетворювальна техніка». – 2017. – № 4 (1226). – С. 72–77.http://openarchive.nure.ua/handle/document/5203В результате изучения свойств и структуры тонких пленок, показано что свойства и структура тонких пленок значительно отличается от тех же параметров объемного материала. Физические процессы происходящие во время образования пленок обуславливают индивидуальную специфику свойств и структуры. Поэтому, одним из основных показателей качества металлических тонких пленок является отсутствие дефектов. В работе рассмотрены вопросы теории появления дефектов тонких электропроводящих пленок. Выполнен анализ влияния главных электрических параметров пленок на наличие дефектов структуры пленок. Показаны иные возможные виды дефектов пленок и определены способы их выявленияruтонкая электропроводящая пленкатолщина и форма пленкипористость структурповерхностная плотность островковArticle