Гурин, В. Н.Фирсов, А. Г.Гурин, Д. В.2018-07-232018-07-232012Гурин В. Н. Математические модели технологического процесса напыления наноструктурированных диэлектрических пленок, полученных методом ионно-плазменного распыления /В. Н. Гурин, А. Г. Фирсов, Д. В. Гурин // Автоматизированные системы управления и приборы автоматики.Всеукраинский межведомственный научно-технический сборник.-2012-Выпуск 161-С.74-770135-1710http://openarchive.nure.ua/handle/document/6624Статья состоит из двух разделов:Анализи методы получения наноструктурированных диэлектрических пленок, математическое моделирование процесса напыления диэлектрических пленок и определение оптимальных управляющих воздействий;выводов и рекомендаций по дальнейшему направлению исследованийВ статье приведены математические модели процесса напыления наноструктурированных диэлектрических пленок, полученных ионно-плазменным методом распыления кремния в атмосфере кислорода, азота и их смесей. Определены оптимальные управляющие воздействия параметров напыления, применение которых дает возможность получать качественные диэлектрические пленки с заданными параметрами. Приведеныe оптимальные управляющие воздействия могут быть использованы для АСУТП получения пленок.ruмоделидиэлектрические пленкиионнно-плазменное траспылениеArticle